নিম্ন ফোম শিল্পকৌশল রাসায়নিক পরিস্কার / সিলিকন স্লাইস ডিটারজেন্ট 1.01-1.25

লো ফোম শিল্প কেমিক্যাল ক্লিনিং / সিলিকন স্লাইস ডিটারজেন্ট 1.01-1.25

শিল্প রাসায়নিক পরিষ্কারের ভূমিকা

ভিএফএসআই এবং ইউএলএসআই সিলিকন সার্কিটগুলির সফল বানোয়াটের জন্য ওয়েফার পৃষ্ঠগুলির বিশুদ্ধতা একটি প্রয়োজনীয় প্রয়োজনীয়। ওয়েফার পরিষ্কারের রসায়নটি গত 25 বছরে মূলত অপরিবর্তিত রয়েছে এবং এটি "আরসিএ স্ট্যান্ডার্ড ক্লিন" নামে পরিচিত একটি প্রক্রিয়া গরম ক্ষারীয় এবং অ্যাসিডিক হাইড্রোজেন পারক্সাইড সমাধানের উপর ভিত্তি করে। এটি এখনও শিল্পে ব্যবহৃত প্রাথমিক পদ্ধতি। পরিবর্তিত হয়েছে অনুকূলিতকরণ সরঞ্জামগুলির সাথে এর বাস্তবায়ন: সাধারণ নিমজ্জন থেকে সেন্ট্রিফুগাল স্প্রেিং, মেগাসনিক কৌশলগুলি এবং আবদ্ধ সিস্টেম প্রক্রিয়াজাতকরণ যা দূষক ছায়াছবি এবং কণা উভয়কে একযোগে অপসারণের অনুমতি দেয়। আইসোপ্রোপানল বাষ্পের সাহায্যে বা গরম ডিওনাইজড জলের বাইরে "ধীর-টান" ব্যবহার করে ওয়েফার শুকানোর উন্নতিগুলি তদন্ত করা হচ্ছে। কোলিন সলিউশন, রাসায়নিক বাষ্প ইচিং এবং ইউভি / ওজোন চিকিত্সা সহ বেশ কয়েকটি বিকল্প পরিষ্কার পদ্ধতিও পরীক্ষা করা হচ্ছে।

প্রথম পদক্ষেপ: দ্রাবক পরিষ্কার

সিলিকন ওয়েফারগুলির তল থেকে সাফল্যের সাথে তেল এবং জৈব अवशेषগুলি সরাতে দ্রাবকগুলি ব্যবহৃত হয়। দ্রাবক দূষকগুলি অপসারণ করার সময়, তারা তাদের নিজস্ব অবশিষ্টাংশ ওয়েফারের পৃষ্ঠের উপরে রেখে দেয়। যে কারণে, দ্বি-দ্রাবক পদ্ধতিটি ওয়েফার যথাসম্ভব পরিষ্কার কিনা তা নিশ্চিত করার জন্য ব্যবহৃত হয়।

দ্বিতীয় ধাপ: আরসিএ -১ ক্লিন

দ্রাবক থেকে অবশিষ্ট কোন অবশিষ্টাংশ একটি আরসিএ ক্লিন দিয়ে যত্ন নেওয়া হয়। আরসিএ ক্লিনটি সিলিকনকে জারণ করে, এইভাবে ওয়েফারের পৃষ্ঠে অক্সাইডের একটি পাতলা প্রতিরক্ষামূলক স্তর সরবরাহ করে।

তৃতীয় পদক্ষেপ: হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড ডিপ

চূড়ান্ত পদক্ষেপ হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড ডিপ। সিলিকন ডাই অক্সাইড সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠ থেকে অপসারণ করতে একটি এইচএফ ডিপ ব্যবহার করা হয়। এইচএফ একটি অত্যন্ত বিপজ্জনক রাসায়নিক, তাই ভারী গ্লোভস এবং আইওয়ারওয়্যারের মতো প্রতিরক্ষামূলক গিয়ার পরা অবস্থায় এই পদক্ষেপটি করা গুরুত্বপূর্ণ।

শিল্প রাসায়নিক পরিষ্কারের প্রযুক্তিগত পরামিতি

শিল্প রাসায়নিক পরিষ্কারের নির্দেশাবলী

1) তিন-চতুর্থাংশ পর্যন্ত পরিষ্কারের ট্যাঙ্কে খাঁটি জল রাখুন, তারপরে, 3% -5% ঘনত্বের এজেন্ট যুক্ত করুন, কার্য স্তর পর্যন্ত জল যুক্ত করুন, শেষ, স্নানের দ্রবণটি তাপমাত্রা তাপমাত্রা পর্যন্ত গরম করুন।

2) নির্দিষ্ট পরিমাণ সিলিকন স্লাইস হ্রাস করার পরে স্নানের সমাধান সম্পূর্ণ পরিবর্তন করতে হবে change

3) জারণ এড়ানোর জন্য বাতাসে প্রকাশিত সময় হ্রাস করুন।

4) কাজের তাপমাত্রা 50-65 ডিগ্রি, নিষ্পত্তি সময়: 2-5 মিনিট।

মন্তব্য

1) সৌর বারটি জল স্পর্শ করতে পারে না, সময়মতো পরিষ্কার করতে না পারলে সলিউকিউড বা ডিগ্রিজিং এজেন্টের সাথে ডুব দেওয়া দরকার।

২) বায়ু-শুষ্কতা এড়াতে অবনমিতকরণ প্রক্রিয়াতে আসার সাথে সাথে সোলার বারটিকে সময়মতো নিষ্পত্তি করতে হবে।

৩) বায়ু-শুকনো এড়াতে অবনমিত করার সময় সৌর বারটি ভেজা রাখুন।

4) টুকরা এড়ানোর জন্য, নোট 1 এবং নং 2 ট্যাঙ্কের বুদ্বুদ সুইচটি বন্ধ করতে হবে যখন অতিস্বনক হ্রাস হয়, তারপরে, ফিক্সিংয়ের পরে স্যুইচটি চালু করুন।

5) একটি চক্র হ্রাসের পরে no5.6 এবং 7 ট্যাঙ্ক পরিবর্তন করতে হবে।

6) সিলিকন স্লাইস স্পর্শ করা যাবে না। আঙুলের ছাপ এড়াতে কর্মীদের অবশ্যই গ্লাভস দিয়ে কাজ করতে হবে।

)) ছাড়পত্র অর্জনের জন্য, ডিগুমিংয়ের আগে কমপক্ষে 30 মিনিট সিলিকন স্লাইস স্প্রে করতে হবে।

6. সংযোজন

1) প্যাকিং: 20 কেজি / শক্ত কাগজ (2 কেজি / বোতল), 25 কেজি / প্লাস্টিকের ব্যারেল, 1000 কেজি / ব্যারেল

2) মেয়াদ সময়: এক বছর